就在这时🗡，负责光刻机整机联动调试的郝宁教授，朝胡明镇招了招手，“胡总，我们刚才已经模拟运行过🈖♾🎅一次，这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试？”
按照光刻机⛦本来的调试流程，一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间，🁷郝宁教授才会这么询问胡明镇。
胡明镇闻言⛦，稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎，从来都不喜欢冒险。但是为了😿政治任务，只好微微😓点头，“老郝，我同意执行流片测试程序。”
“好！”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手🚔📉🙀，“立🐘⛴即执行流片工程测试程序！”
随🃬着他这一声令下，光刻室里的技术员🚔📉🙀们顿时都忙碌起🙬🍢来，做流片工序的准备工作。
芯片流片非常讲究，仅仅光刻室里就由许多道制程工艺🙬🍢组成🅦🈰。
比如说，蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、🐘⛴清洁激🐛🀟♭光头、激光头校准对焦等🜑等等等。
这🃬些🝼🐟工序的精度要求都非常高，而且要在无尘状态操作，不得马虎。
不但如此，光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁🐛🀟♭波、温度、湿度等技🝄🈩术参数都有严格的规定😓，否则都会影响光刻硅晶圆片的精度，影响流片的成品率。
“老胡，这台设备我们已经测试过很多次，也通过好几次实战，应该没🏜🚽😸问题。”郝宁教🖹授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏，所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光，朝郝宁教授颔首点头，“我知道这🙲🎘👚次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“是不是就⛦像准🗐🚰备去参加高考一样？”站在他身旁的刘🙬🍢教授说起玩笑话，拿胡明镇开心。
玩笑🝼🐟话虽然是玩笑话，但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的😿一名专家，每当自己的科研项目接受论证审查时，应该都是这种心态的🞯🗪。
一个半小时以后，梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍，然后朝胡明镇伸出两个大拇指，“报告胡总，全国产第一台krf光刻机已经做好准备，下面要开始执行光🔵🅂🃱刻制😿程🁨🈓工序，请指示。”
“开始！”
胡明镇猛然一挥手。
“嘟嘟👝嘟”随着这一声令下🛵♌，这台光刻机主体系统上方的报警灯🌨开始闪烁，隔绝玻璃门开始缓缓关闭。
“好啊，终于开始了。”
“这是一个伟大的时刻！”
“我们这些人都在见证历史啊。”
看到这一幕，刘🗐🚰教授、董教授、单教授等人都非常激动，嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。
因为🝼🐟他们这⛦些人跟⚊🏯🝤胡明镇一样，也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。
按照光刻机⛦本来的调试流程，一定要通过三次模拟实验以后才能开始进行流片测试。但为了赶时间，🁷郝宁教授才会这么询问胡明镇。
胡明镇闻言⛦，稍稍犹豫了片刻。他性格谨慎，从来都不喜欢冒险。但是为了😿政治任务，只好微微😓点头，“老郝，我同意执行流片测试程序。”
“好！”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手🚔📉🙀，“立🐘⛴即执行流片工程测试程序！”
随🃬着他这一声令下，光刻室里的技术员🚔📉🙀们顿时都忙碌起🙬🍢来，做流片工序的准备工作。
芯片流片非常讲究，仅仅光刻室里就由许多道制程工艺🙬🍢组成🅦🈰。
比如说，蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、🐘⛴清洁激🐛🀟♭光头、激光头校准对焦等🜑等等等。
这🃬些🝼🐟工序的精度要求都非常高，而且要在无尘状态操作，不得马虎。
不但如此，光刻室的灯光照明、声波、震动波、电磁🐛🀟♭波、温度、湿度等技🝄🈩术参数都有严格的规定😓，否则都会影响光刻硅晶圆片的精度，影响流片的成品率。
“老胡，这台设备我们已经测试过很多次，也通过好几次实战，应该没🏜🚽😸问题。”郝宁教🖹授见胡明镇的目光一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏，所以才特意走来宽慰几句。
胡明镇闻言收回目光，朝郝宁教授颔首点头，“我知道这🙲🎘👚次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“是不是就⛦像准🗐🚰备去参加高考一样？”站在他身旁的刘🙬🍢教授说起玩笑话，拿胡明镇开心。
玩笑🝼🐟话虽然是玩笑话，但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的😿一名专家，每当自己的科研项目接受论证审查时，应该都是这种心态的🞯🗪。
一个半小时以后，梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍，然后朝胡明镇伸出两个大拇指，“报告胡总，全国产第一台krf光刻机已经做好准备，下面要开始执行光🔵🅂🃱刻制😿程🁨🈓工序，请指示。”
“开始！”
胡明镇猛然一挥手。
“嘟嘟👝嘟”随着这一声令下🛵♌，这台光刻机主体系统上方的报警灯🌨开始闪烁，隔绝玻璃门开始缓缓关闭。
“好啊，终于开始了。”
“这是一个伟大的时刻！”
“我们这些人都在见证历史啊。”
看到这一幕，刘🗐🚰教授、董教授、单教授等人都非常激动，嘴里忍不住唠唠叨叨的说着话。
因为🝼🐟他们这⛦些人跟⚊🏯🝤胡明镇一样，也是第一次见证这台全国产第三代光刻机的正式执行光刻制程工艺。