第0章 法术芯片制作工艺(1/3)
与此同时。
李察拿着沙子,进入了伊甸园中。
走进主实验室,把沙子倒入一个漏斗状的容器中,就开始清洗、筛选☎♺、过滤,经过不少的流程,最后得到合格的🂾🔙🁃纯⛪🝋净沙子。
把纯净沙子转移🈒♘到另一个圆柱状的👋😔容器中,掺入大量的焦💿🗨🞌炭,放入特殊的熔炉内就开始加热。
加热过程中,沙子发出声响,李察清楚,这是沙子的成分——二氧化硅(S🛖iO2),与焦炭的成分——碳(C)反应,最终会生成冶金级别的、粗度在98%左右的粗硅(Si)。
加热之后,李察得到了足够的粗硅,没有犹豫,又快速的开始进行第二步处理。具体操作,就是用盐酸进行氯化,然后蒸馏,一步步的制作出高纯度的多晶硅。按照标准,制作出了的高纯度多晶硅,其纯度为99.999999999%——一共11个9——这是硬性要求,如果达不到,之后制作出了的产品,很有可🅸能存在一定的缺陷。
进行完这一步,检测合格后,李察没有停下,又开始把多晶硅放入特制容器中,在高温效果下☄熔解成高温液体。
成功熔解后,在液体中放入一小粒硅晶体硅种,以这一粒硅晶体硅种作为附着物,让液体在底部一点点的成形。当放入的、系着线的硅晶体硅种,被缓缓的拉出👬🌀🟊来的时候,在硅晶体硅种的下面便形成了一根圆棒。这是单晶硅晶棒,也就是所谓的“长晶”,能看到长晶呈标准的圆柱体,半径和最初放入的硅晶体硅种一致。
至🝄🈦🀥此,芯片的底片就完成了制作阶段,接下来的是加工阶段。
把制作出来的单晶硅晶棒收起,🈭🁦🇿李察迈步,快🁄🃌🖜速走出了主实验室,前往了机械加工扇区,然后进入研究室。
在研究室内,李察把单晶硅晶棒放上加工台,保持竖直状态⛔,调整机☎♺械臂下移,开始进行精准的切割。
“刷!”
机械臂🂏🍰挥过,就看到单晶硅晶棒立刻被削去一🁄🃌🖜层,削去的部分正好是一个薄🛖薄的圆片,直径十多厘米。
把圆片细细打磨、抛光,就看到圆片的表🀠面光亮无比,宛如镜子⚗👢,成为了一个合格的圆晶——硅晶圆片,这算是集成电路工业中,最基🕙本的原料。
把圆晶按照一定规格切割后,便🈭🁦🇿是芯片最原始的状态,🟑🜞🃒也就是所谓的底片。
至此,底片制作完成。
……
底片制作完成后,需要解决的便是光刻🎞💋胶和显影液。
光刻胶是涂抹在🈒♘底片上的液🝢体,在被特殊的光线照射后,会产生特殊的变化🛖,然后浸入显影液中,进行特殊的反应,便能得到蒙板上的图案。
一般来说🗾,光刻胶有两大类——正性光刻胶,和负性光刻胶。
正性光刻胶,是曝光部分发生光🈭🁦🇿化学反应溶于显影液,🟑🜞🃒未曝光部分不溶于显影液,🔇仍然保留在衬底上,最终在衬底形成的图案和蒙板上的图案相同。
负性光刻胶,是曝光部分因为交联固化作用不溶于显影液,未曝光部分则溶于显影液,最终在衬底形成的图案🖂和蒙板上的正好📄😒🀷相反。
李察经过一番考虑后,决定用正性光刻胶,这样后面制作💿🗨🞌蒙板的话,也比较容易。
李察拿着沙子,进入了伊甸园中。
走进主实验室,把沙子倒入一个漏斗状的容器中,就开始清洗、筛选☎♺、过滤,经过不少的流程,最后得到合格的🂾🔙🁃纯⛪🝋净沙子。
把纯净沙子转移🈒♘到另一个圆柱状的👋😔容器中,掺入大量的焦💿🗨🞌炭,放入特殊的熔炉内就开始加热。
加热过程中,沙子发出声响,李察清楚,这是沙子的成分——二氧化硅(S🛖iO2),与焦炭的成分——碳(C)反应,最终会生成冶金级别的、粗度在98%左右的粗硅(Si)。
加热之后,李察得到了足够的粗硅,没有犹豫,又快速的开始进行第二步处理。具体操作,就是用盐酸进行氯化,然后蒸馏,一步步的制作出高纯度的多晶硅。按照标准,制作出了的高纯度多晶硅,其纯度为99.999999999%——一共11个9——这是硬性要求,如果达不到,之后制作出了的产品,很有可🅸能存在一定的缺陷。
进行完这一步,检测合格后,李察没有停下,又开始把多晶硅放入特制容器中,在高温效果下☄熔解成高温液体。
成功熔解后,在液体中放入一小粒硅晶体硅种,以这一粒硅晶体硅种作为附着物,让液体在底部一点点的成形。当放入的、系着线的硅晶体硅种,被缓缓的拉出👬🌀🟊来的时候,在硅晶体硅种的下面便形成了一根圆棒。这是单晶硅晶棒,也就是所谓的“长晶”,能看到长晶呈标准的圆柱体,半径和最初放入的硅晶体硅种一致。
至🝄🈦🀥此,芯片的底片就完成了制作阶段,接下来的是加工阶段。
把制作出来的单晶硅晶棒收起,🈭🁦🇿李察迈步,快🁄🃌🖜速走出了主实验室,前往了机械加工扇区,然后进入研究室。
在研究室内,李察把单晶硅晶棒放上加工台,保持竖直状态⛔,调整机☎♺械臂下移,开始进行精准的切割。
“刷!”
机械臂🂏🍰挥过,就看到单晶硅晶棒立刻被削去一🁄🃌🖜层,削去的部分正好是一个薄🛖薄的圆片,直径十多厘米。
把圆片细细打磨、抛光,就看到圆片的表🀠面光亮无比,宛如镜子⚗👢,成为了一个合格的圆晶——硅晶圆片,这算是集成电路工业中,最基🕙本的原料。
把圆晶按照一定规格切割后,便🈭🁦🇿是芯片最原始的状态,🟑🜞🃒也就是所谓的底片。
至此,底片制作完成。
……
底片制作完成后,需要解决的便是光刻🎞💋胶和显影液。
光刻胶是涂抹在🈒♘底片上的液🝢体,在被特殊的光线照射后,会产生特殊的变化🛖,然后浸入显影液中,进行特殊的反应,便能得到蒙板上的图案。
一般来说🗾,光刻胶有两大类——正性光刻胶,和负性光刻胶。
正性光刻胶,是曝光部分发生光🈭🁦🇿化学反应溶于显影液,🟑🜞🃒未曝光部分不溶于显影液,🔇仍然保留在衬底上,最终在衬底形成的图案和蒙板上的图案相同。
负性光刻胶,是曝光部分因为交联固化作用不溶于显影液,未曝光部分则溶于显影液,最终在衬底形成的图案🖂和蒙板上的正好📄😒🀷相反。
李察经过一番考虑后,决定用正性光刻胶,这样后面制作💿🗨🞌蒙板的话,也比较容易。