“这次我们为大家带来了最先进的深紫外光刻机光源系统，这👀🅲套光源系统是我们采用了深紫外固态激光光源，通过激光倍频技术我们做到了波长在35纳米的光源，通过我们公司内部技术人员的各种模拟测试，结果表明这套光源可以在征服百分之零点二的输出剂量长时间稳定进行工作，完全可以满足🜛🂺📶商业光刻机进行扫描照射的要求。”
何玉光一脸自豪地说道：“相比较于之前传统的气体激光光源，我们这套光源并不需要长时间的预热，在非常短的时间🔀♆🆋里面就可以提高到最大的功率，并且不需要中途进行激光燃料的更换，最大限度地减轻客户的使用成本。”
“现在我们研制的这套光源系统总的输出功☂☊率可以做到220瓦，完全可以满足双工件台同时进行工作。经过大量的模拟测试，🞛搭载这套光源系统的光刻机具备每小时刻蚀140张12英寸晶圆的能力。”
在🙔🎧何玉光进行解说的同🇯时，身后的超大屏幕上也是演示了光源系统工作的模拟动画，台下的众人此时都是露出不能置信的神情！
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